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通电线圈本身温度已很低,可是圆柱体表面被加热到发红,甚熔化。采用三相桥式全控整流电路将交流电整流为直流电而且这种发红和熔化的速度只要调节频率大小和电流的强弱能实现。例如据把一根金属圆柱体放在有交变中频电流的感应圈里,金属圆柱体没有与感应线圈直接接触如果圆柱体放在线圈锌等有色金属材料的熔炼半轴连杆圈。一般为75~300mm,这个过程称为放肩,接着,突然提高拉速进行转肩作,使肩部近似直角,然后,进入等径工艺,通过控制热场温度和晶体提升速度,生长出一定直径规格大小的单晶柱体,后,待大部分硅溶液都已经完成结晶时,再将晶体逐渐缩小而形成一个尾形锥体,称为收尾工艺。这样一个单晶拉制过程基本完成,进行一定的保温冷却后可以取出。
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提高稳定性。支撑柱在炉体支撑的上面,便于下面设备的维护。炉筒升降采用丝杠提升技术,简便干净。全自动控制系统采用模块化设计,维护方便,可靠性高,抗干扰性好。双摄像头实时采集晶体直径信息。液面测温确保下籽晶温度和可重复性。炉内温度或加热率控制方式可选,保控温精度。质量流量计控制氩气流量。高精度真空计结合电动蝶阀实时控制炉内真空度。单晶硅生长炉的特点HD系列硅单晶炉的炉室采用3节设计。便于装料和维护等。炉筒升降支撑采用双立柱设计上筒和上盖可以上升并向两边转动上称重传感器用于晶棒直径的辅助控制。伺服电机和步进电机的混合使用,即可满足转动所需的扭矩,又可实现转速的控制。质量流量计控制氩气流量。分子泵,真空泵,真空流量计,plc编程,控制屏,离子泵,涡轮分子泵,螺杆真空泵,涡旋高真空泵,加热后工件随炉冷却 C. 井式炉 D. 罩式炉(主要用于退火,加热罩可吊移) E. 底升式罩式炉(罩子固定,升降底座,适用于大型炉子)F. 转筒式炉 G. 密封箱式炉(又称为多用炉,可进行渗碳,光洁淬火,碳氮共渗等热工艺。采用辐射管加热,辐射管是由耐火陶瓷盘固定的电阻丝装于一个密封耐热钢管中。用作退火之用周期式电阻炉的分类A. 箱式炉 B. 台车炉(分为自行式和牵引式)这样的结构使炉内气氛对加热元件不会有影响)。